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ALDER-500PAS(A500PAS)是一种为了满足各种涂层研发及中型批量量产而进行优化设计的中型ALD装置。
A1000PC是面向于工业化大规模生产的原子层沉积系统，低温镀膜设计可以在各种3维基板上沉积高质量光学薄膜。
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